自动匀胶台和化合物半导体精细刻蚀设备

  

  购置自动匀胶台和化合物半导体精细刻蚀设备,完成了自动匀胶台和化合物半导体精细刻蚀设备的设备调研、谈判、招投标等购置工作,如图所示,进一步提升和完善太赫兹半导体器件工艺平台,为支撑科研工作和成果产出奠定了基础。

     

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