高端硅基材料研发平台

高端硅基材料研发平台,主要为300mm硅片、200-300mmSOI片、大尺寸异质集成材料(XOI)的研发和中试提供支撑,经过多年的积累,已经具备完备的材料制备和分析表征能力。目前平台拥有1000级(局部100级)净化间300多平米,具备离子注入机、真空键合机、高温退火炉、机械减薄机、化学机械抛光机等材料制备设备和薄膜厚度测试仪、高清光学显微镜、原子力显微镜、拉曼光谱仪等分析表征设备。通过实验室“研究平台”与上海新傲科技股份有限公司、上海新昇半导体科技有限公司“产品平台”的结合,已经成为国际领先,国内唯一的,真正实现“产学研用”良性互动的平台。 

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